»ï¼ºÀüÀÚ (62,800¿ø ¡å200 -0.32%)°¡ ³»³â »ó¹Ý±â¿¡ 40³ª³ë¹ÌÅÍ(nm) ¹Ì¼¼È¸·Î °øÁ¤¿¡ '¹°'À» È°¿ëÇÑ ¿þÀÌÆÛ °¡°ø °øÁ¤ÀÎ À̸ÓÁ¯ ¸®¼Ò±×¶óÇÇ(Immersion Lithography: ¾×ħ ³ë±¤)¸¦ µµÀÔÇØ ³½µåÇ÷¡½Ã ¾ç»ê¿¡ µé¾î°£´Ù.
¾×ħ(¹°¿¡ ´ã±×´Â) ³ë±¤°øÁ¤Àº ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ¿Í ³ë±¤±â(»çÁø±â¿Í °°Àº ¿ªÇÒ) »çÀÌ¿¡ ¹°À» ÅõÀÔÇØ ±âÁ¸¿¡ »ç¿ëÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ ³ë±¤ ±¤¿øÀÇ ÆÄÀåÀ» ÁÙÀÓÀ¸·Î½á ´õ ¹Ì¼¼ÇÑ È¸·Î¸¦ »õ±æ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼úÀÌ´Ù.
23ÀÏ »ï¼ºÀüÀÚ ¸Þ¸ð¸®»óÇ°±âȹÆÀ ÀüÁØ¿µ »ó¹«´Â "³»³â »ó¹Ý±â 40³ª³ë ³½µåÇ÷¡½Ã ¾ç»ê ¶§ºÎÅÍ À̸ÓÁ¯ ¸®¼Ò±×¶óÇÇ °øÁ¤À» µµÀÔÇÒ °Í"À̶ó¸ç "À̸¦ À§ÇÑ Àåºñ¹ßÁÖ¿¡ µé¾î°¬´Ù"°í ¹àÇû´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÀϺΠ50³ª³ë °øÁ¤¿¡¼ Ãʱâ´Ü°èÀÇ À̸ÓÁ¯ ¸®¼Ò±×¶óÇÇ °øÁ¤À» µµÀÔÇÏ°í ÀÖ´Ù.
Àü »ó¹«´Â "Àüü ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ ¾à 25 ´Ü°èÀÇ ³ë±¤ °øÁ¤ Áß¿¡ 40³ª³ë °øÁ¤ ÀüȯÀ» À§ÇØ 4-5 ´Ü°è¿¡ ÀÌ À̸ÓÁ¯ ¸®¼Ò±×¶óÇÇ·Î ±³Ã¼ÇØ 40³ª³ë °øÁ¤À¸·Î ÀüȯÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù"°í ¼³¸íÇß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÇöÀçÀÇ ¹Ì¼¼È¸·Î °øÁ¤À» ÁøȽÃÅ°´Âµ¥ ÇѰ踦 ±Øº¹Çϱâ À§ÇØ ¹°ÀÇ ±¼Àý·üÀ» ÀÌ¿ëÇÑ À̸ÓÁ¯ ¸®¼Ò±×¶óÇÇ °øÁ¤À» ³»³â 40³ª³ë ³½µåÇ÷¡½Ã »ý»êºÎÅÍ º»°Ý µµÀÔÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ¿Í ÇÔ²² ÇÏÀ̴нº (162,600¿ø ¡ã5,500 +3.50%)³ª ÀϺ»ÀÇ µµ½Ã¹Ùµµ 40³ª³ë±Þ °øÁ¤¿¡ À̸ÓÁ¯ ¸®¼Ò±×¶óÇÇ °øÁ¤À» µµÀÔÅ°·Î ÇÏ°í ¿¬±¸°³¹ß¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÇÑÆí, À̸ÓÁ¯ ¸®¼Ò±×¶óÇÇ´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡¼ ´õ ¹Ì¼¼ÇÑ È¸·Î¸¦ »õ±â·Á¸é ´õ ªÀº ÆÄÀåÀÇ ±¤¿øÀ» °¡Áø ³ë±¤±â°¡ ÀÖ¾î¾ß Çϴµ¥, ÀÌ ±â¼úÀº ±âÁ¸ ³ë±¤±â¿¡¼ ¾à°£ º¯ÇüµÈ Àåºñ·Î ¹°ÀÇ ±¼Àý·üÀ» ÀÌ¿ëÇØ ÆÄÀåÀ» ÁÙÀÌ´Â °ÍÀÌ´Ù.
¾î¶² ¹°ÁúÀÇ ±¼Àý·üÀÌ ³ôÀ¸¸é ºûÀÌ À̸¦ Åë°úÇÒ ¶§ ÆÄÀåÀÌ Âª¾ÆÁö´Â µ¥¼ Âø¾ÈÇØ °ø±â(±¼Àý·ü 1.0)º¸´Ù ±¼Àý·üÀÌ ³ôÀº ¹°(1.36¡1.44)À» »ç¿ëÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù.
ÀÌ ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÒ °æ¿ì ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëÇÏ´Â 193³ª³ë¹ÌÅÍ(nm)ÀÇ ArF(Ç÷ç¿À¸° ¾Æ¸£°ï) ±¤¿øÀÇ ÆÄÀåÀ» 134³ª³ë¹ÌÅÍ Á¤µµ·Î 31% °¡·® ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ¾î °°Àº ³ë±¤Àåºñ¸¦ »ç¿ëÇÏ´õ¶óµµ ´õ ¹Ì¼¼ÇÑ È¸·Î¸¦ »õ±æ ¼ö ÀÖ´Â ¿ø¸®´Ù.
- VIEW 11,707
- 2007.10.24 14:39
³ë±¤±â¿Í ¿þÀÌÆÛ »çÀÌ ¹° ÅõÀÔ...¹Ì¼¼È¸·Î ±â¼ú ÁøÈ
°ü·Ã±â»ç°ü·Ã±â»ç
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¡®µ·ÀÌ º¸ÀÌ´Â ¸®¾óŸÀÓ ´º½º¡¯ ¸Ó´ÏÅõµ¥ÀÌ. ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷, AIÇнÀ ÀÌ¿ë ±ÝÁö>
|
¸Ó´ÏÅõµ¥ÀÌ ÁÖ¿ä´º½º
¹Î°£Åë°è´Â ´Þ¶ú´Ù¡¦"¼¿ï Áý°ª 4.5% Ç϶ô"- '¾çÄ¡±â' ¸ð°Ç½ºÅĸ®¡¦AI½´ÆÛ»çÀÌŬ ¼±¾ð ÇÑ´Þ¸¸ µ¹º¯ ¿Ö?
- 'Âð¹Ýµî' ¾Æ´Ñµ¥ 3³â»õ 20¾ï¡æ60¾ï¡¦¼¿ï °í°¡ÁÖÅ𪠻ó½Â·ü ¼¼°è 3À§
- »ç´çµ¿ ½ÅÃà ¾ÆÆÄÆ® 8¾ï¿¡...¼¿ï 'ÁÝÁÝ' ¶Ç ³ª¿Ô´Ù
- À± ´ëÅë·É, üÄÚ ÃâÀå¼ ¿øÀü ¼öÁÖ »ç½Ç»ó ¸Åµì¡¦'¿øÀü 10±â ¼öÃâ' ź·Â?
- OO ÀâÀ¸´Ï »ç»ó ÃÖ´ë ½ÇÀû¼î¡¦'¸Ô±¸¸§' ³¤ ¹ÝµµÃ¼, ÀÌ°÷Àº ¿ô´Â´Ù
- 4´ë °ú±â¿ø ¿ì¼ö±â¼ú GBW ÃÑÃ⵿¡¦'2024 Å×Å©¸¶ÄÏ' Å«Àå ¼±´Ù