ÀÌ ±â¼úÀº »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ±âÁ¸ °øÁ¤À» È°¿ëÇϸ鼵µ ¹Ì¼¼È¸·Î °øÁ¤ ±â¼úÀ» ÁøȽÃų ¼ö ÀÖ´Ù´Â Ãø¸é¿¡¼ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ »ý»ê¼ºÀ» ³ôÀÌ°í ½ÃÀå Áö¹è·ÂÀ» °ÈÇÏ´Â µ¥ Å« ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
¡ßÀÚ°¡ Á¤·Ä ÀÌÁßÆÐÅÏ ±â¼úÀ̶õ=ÀÌ ±â¼úÀº 60³ª³ë °£°ÝÀÇ ÄÞÆĽº·Î µÎÁÙÀ» ±×À» ¶§ 30³ª³ë¾¿ ¿·À¸·Î ¿òÁ÷ÀÌ¸é¼ Áß°£¿¡ ¼±À» ±×¸®´Â °Í°ú °°´Ù. ÀÌ·¸°Ô µÇ¸é 60³ª³ë Àåºñ·Îµµ 30³ª³ë °£°ÝÀÇ È¸¼±À» ±×¸± ¼ö ÀÖ°Ô µÈ´Ù.
±âÁ¸ ÀÌÁß ÆÐÅÏ ±â¼ú(DPT)ÀÌ ÇϳªÀÇ ¼¿À» ±¸¼ºÇÏ´Â µ¥ µÎ¹øÀÇ Æ÷Åä(»çÁø ³ë±¤) °øÁ¤À» ÇÏ´Â µ¥ ºñÇØ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ SaDPT´Â ³ë±¤°øÁ¤À» Çѹø¿¡ ³¡³½´Ù´Â Á¡¿¡¼ °¡Àå Å« Â÷ÀÌ°¡ ÀÖ´Ù.
ÇϳªÀÇ ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÒ ¶§ ±âÁ¸ ±â¼úÀÌ 30³ª³ëÀÇ ³ë±¤ °øÁ¤À» µÎ¹øÇÏ´Â °Í°ú ´Þ¸® ÇѹøÀÇ ³ë±¤ °øÁ¤°ú ÇѹøÀÇ »êÈ °øÁ¤À¸·Î 30³ª³ë ¹Ì¼¼È¸·Î¸¦ ±¸ÇöÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ ¸Þ¸ð¸®»óÇ°±âȹÆÀ ÀüÁØ¿µ »ó¹«´Â "ÀÌó·³ ÇÏ´Â ÀÌÀ¯´Â µÎ¹øÀÇ ³ë±¤ °øÁ¤À¸·Î ¹Ì¼¼È¸·Î °øÁ¤À» ±¸ÇöÇÏ´Â °ÍÀÌ ¾î·Á¿ï »Ó´õ·¯ °í°¡ÀÇ ³ë±¤°øÁ¤À» ÁÙÀÓÀ¸·Î½á ºñ¿ëÀ» Àý°¨ÇÒ ¼ö Àֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
¡ßSaDPT¿¡ CTF Àû¿ë=¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î°¡ ¹Ì¼¼ÈµÇ¸é¼ ´ç¸éÇÏ´Â ¹®Á¦°¡ ÀÎÁ¢ÇÑ ¼¿°£ °£¼· ¹®Á¦´Ù. ȸ·Î°¡ ¹Ì¼¼ÇØÁö¸é¼ Àü·ù´©¼³ÀÌ ¹ß»ýÇØ ÀÎÁ¢¼¿¿¡ ¿µÇâÀ» ÁÜÀ¸·Î½á ¹ÝµµÃ¼°¡ ¿ÀÀÛµ¿ÇÏ´Â ¹®Á¦°¡ »ý±ä´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â 30³ª³ë ¹Ì¼¼È¸·Î °øÁ¤¿¡¼ ÀÌ°°Àº ¼¿°£ °£¼·(Cross Talk)¸¦ ÁÙÀ̱â À§ÇØ CTF(Charge Trap Flash) ±â¼úÀ» Àû¿ëÇß´Ù. CTF ±â¼úÀº »ï¼ºÀüÀÚ°¡ Áö³ÇØ 9¿ù 40³ª³ë ¹Ì¼¼È¸·Î °øÁ¤À» À§ÇØ °³¹ßÇÑ °ÍÀ¸·Î, ºÎµµÃ¼ÀÎ ³ªÀÌÆ®¶óÀ̵å(N)¿¡ ÀüÇϸ¦ ä¿ì´Â ¹æ½ÄÀÌ´Ù.
ºÎµµÃ¼À̱⠶§¹®¿¡ ¼¿°£ Àü·ùÀÇ ´©¼³À» Â÷´ÜÇÏ¸é¼ ¹Ì¼¼È¸·Î °øÁ¤À» ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â µ¥, 30³ª³ë °øÁ¤¿¡¼ SaDPT ±â¼ú¸¸À¸·Î´Â ¼¿°£ °£¼·À» ¸·Áö ¸øÇϱ⠶§¹®¿¡ ¿©±â¿¡ CTF ±â¼úÀ» Àû¿ëÇØ ¿ÏÀüÇÑ 30³ª³ë ȸ·Î °øÁ¤À» ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀÌ´Ù.
¡ßȹ±âÀûÀÎ ¿ø°¡Àý°¨°¡´É=»ï¼ºÀüÀÚ°¡ À̹ø¿¡ °³¹ßÇÑ ÀÚ°¡Á¤·Ä ÀÌÁßÆÐÅÏ ±â¼úÀÇ Àǹ̴ ¹ÝµµÃ¼ ±â¼úÀÇ ÁøÈ °úÁ¤¿¡¼ ±â¼úÀÇ Áøȸ¦ ³ôÀÌ¸é¼ ¿ø°¡¸¦ ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Â °øÁ¤À̱⠶§¹®ÀÌ´Ù.
´çÃÊ ¹ÝµµÃ¼ ±â¼ú ·Îµå¸Ê¿¡¼´Â »ç¿ëÇÏ´Â ±¤¿øÀÌ ArF(¾Æ¸£°ï Ç÷ç¿À¸°) ´ÙÀ½ ´Ü°è·Î ArFº¸´Ù ÆÄÀåÀÌ ÂªÀº ¿¢½Ã¸Ó ·¹ÀÌÀú³ª Ç÷ç¿À¸° ±¤¿øÀ» »ç¿ëÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù. ¹Ì¼¼°øÁ¤À» À§Çؼ´Â ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ ±×¸®´Â ¿¬ÇÊ°ú °°Àº ±¤¿øÀÇ ÆÄÀåÀÌ ÂªÀº °øÁ¤ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù´Â ¾ê±â´Ù.
ÇÏÁö¸¸ ÀÌ°°Àº »õ·Î¿î ¹æÇâÀ¸·Î ÁøÈÇϱâ À§Çؼ´Â ÇöÀçÀÇ Àåºñ °¡°ÝÀÇ µÎ¹è°¡ µÇ´Â »õ·Î¿î ÀåºñÀÇ °³¹ßÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù.
¶ÇÇÑ Á¦¶§ Àåºñ °³¹ßÀÌ ÀÌ·ç¾îÁ®¾ß Çϴµ¥ ȸ·Î°¡ ¹Ì¼¼ÈµÉ¼ö·Ï Àåºñ°³¹ßÀº ´õ Å« ¾î·Á¿ò¿¡ ºÀÂøÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀüÁØ¿µ »ó¹«´Â "¾ÆÁ÷ Àåºñ ¾÷üµéÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ¾÷üµéÀÌ ¿øÇÏ´Â Àåºñ¸¦ Á¦¶§ °³¹ßÇÏÁö ¸øÇØ »õ·Î¿î ¹æ¹ýÀ» °±¸ÇÏ°Ô µÈ °ÍÀÌ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
µû¶ó¼ ±âÁ¸ ±¤¿øÀ» »ç¿ëÇϸ鼵µ ¹Ì¼¼ÈÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æÇâÀ» ¸ð»öÇÑ °ÍÀÎ SaDPT´Ù. SaDPT´Â ±âÁ¸ 60³ª³ë °øÁ¤¿¡ »ç¿ëÇÏ´Â ArF ³ë±¤°øÁ¤À» »ç¿ëÇϸ鼵µ 30³ª³ë °øÁ¤±îÁö ±¸ÇöÀÌ °¡´ÉÇØ »õ·Î¿î ÀåºñÀÇ µµÀÔÀÌ »ç½Ç»ó ºÒÇÊ¿äÇÏ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÇâÈÄ 40³ª³ë¿¡¼ 20³ª³ë °øÁ¤±îÁö °¡´Âµ¥´Â ±âÁ¸ ArF ±¤¿øÀ» »ç¿ëÇÏ´Â À̸ÓÁ¯(Immersion: ¾×ħ±â¼ú) ¹æ½ÄÀ¸·Î ±â¼úÀ» ÇѰ踦 ±Øº¹ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
ÀÌ·² °æ¿ì »õ·Î¿î °øÁ¤ Àüȯ¿¡ µû¸¥ ´ë´ëÀûÀÎ ½Ã¼³ÅõÀÚ¸¦ ÁÙÀ̸鼵µ »ý»ê¼ºÀ» ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ¾î, »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÇâÈÄ ½ÃÀå Áö¹è·ÂÀ» À¯ÁöÇÏ´Â µ¥ Å« ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.