Èï±¹Áõ±ÇÀº 11ÀÏ ¿£Æ®·ÎÇÇ (0¿ø %)°¡ ¼ºÀ强°ú ¼öÀͼºÀ» °âºñÇÑ ±â¾÷À̶ó¸ç ÅõÀÚÀÇ°ß '¸Å¼ö', ¸ñÇ¥ÁÖ°¡ 1¸¸4400¿øÀ» Á¦½ÃÇß´Ù.
¿£Æ®·ÎÇÇ´Â LCD Àü°øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ÀåºñÀÎ ÁõÂø(CVD), ½Ä°¢(ETCH) Àåºñ¿¡ ¼Ò¿äµÇ´Â ÇÙ½É ºÎÇ°ÀÎ Diffuser, Susceptor, »óºÎÀü±Ø, ÇϺÎÀü±Ø µîÀ» »ý»êÇÏ´Â ¾÷ü´Ù.
À§¼ºÃ¢ Èï±¹Áõ±Ç ¿¬±¸¿øÀº ¿£Æ®·ÎÇÇÀÇ ÁÖ¿ä°í°´ÀÌ »ï¼ºÀüÀÚ, LGÇʸ³½ºLCD, ATK(¹Ì±¹), TEL(ÀϺ») µîÀ¸·Î ´Ù¾çÇÑ ¼ö¿äó¿Í Ç°¸ñÀ¸·Î ¸®½ºÅ©°¡ ºÐ»êµÅ ÀÖ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù. À§ ¿¬±¸¿øÀº ƯÈ÷ ¿£Æ®·ÎÇÇ°¡ »ý»êÁßÀÎ ESC(Electro Static Chuck)°¡ ÇϹݱâºÎÅÍ´Â º»°ÝÀûÀÎ ¸ÅÃâÀÌ ÀϾ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÅ ÇâÈÄ ¼ºÀ强 ¹× ¼öÀͼº Á¦°í¿¡ Å« ±â¿©¸¦ ÇÏ°Ô µÉ °ÍÀ¸·Î ºÐ¼®Çß´Ù.
±×´Â ¿£Æ®·ÎÇÇ°¡ »ý»êÇÏ´Â LCD Àü°øÁ¤ ÇÙ½É ºÎÇ°ÀÌ ÁÖ±âÀû Àç»ý ¹× ±³Ã¼°¡ ºÒ°¡ÇÇÇÑ ¼Ò¸ðÇ°Àû ¼º°ÝÀ¸·Î ¸ÅÃâ µî¶ôÆøÀÌ Àû´Ù´Â °Í, Àü¹æ»ê¾÷ÀÇ ²ÙÁØÇÑ ¾ç»êÅõÀÚ, Àü¹æ»ê¾÷ÀÇ ¹Ì¹ÌÇÑ ÅõÀÚ¿¡µµ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ¸ÅÃâ °¡´É, ÁøÀÔ Àå¸èÀÌ ³ô´Ù´Â Á¡À» Ư¡À¸·Î °®°í ÀÖ´Ù°í ¼³¸íÇß´Ù.
À§ ¿¬±¸¿øÀº ¿£Æ®·ÎÇÇÀÇ µ¶°úÁ¡Àû ½ÃÀåÁöÀ§¿Í LCDÆгΠÁ¦Á¶¾÷üµéÀÇ Áö¼ÓÀûÀÎ ÅõÀÚ, ESCÀÇ º»°ÝÀûÀÎ ¸ÅÃâ µîÀ¸·Î ¿Ã ¸ÅÃâ¾×Àº 254¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÍÀº 80¾ï¿ø, ¿µ¾÷ÀÌÀÍ·üÀº 31.5%¸¦ ´Þ¼ºÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇß´Ù.
- 2006.09.11 08:13
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